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影响固体表面沉积的因素

发布日期:2021-10-11 09:17:29   浏览量 :369
unknown unknown 发布日期:2021-10-11 09:17:29  
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沉积技术对表面沉积的影响


1,不同的沉积技术沉积粒子的能量不同

2,缺陷与电荷点的形成

3,带电粒子对表面的轰击

4,轰击及沉积对基材的加热作用


沉积环境对表面沉积的影响


1,环境中的气相碰撞

2,界面层的形成


基材成分对表面沉积的影响


1,表面污染

2,表面硬度

3,表面缺陷

4,表面化学反应


基材温度对表面沉积的影响


1,清除挥发性残渣

2. 表面的扩散作用和再结晶能力
3. 界面反应加速
4. 底层杂质扩散
5. 基材融化
6. 金属薄膜的低阻抗
7. 增加结晶粒子尺寸
8. 促进再结晶基面外延生长
9. 可能减少内部应力
10. 增加步骤覆盖
11. 增加与基片的相互作用

表面
影响
基材
再结晶
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