真空镀膜机的维护是一个非常重要的话题。当买方购买真空涂层机并返回时，制造商的胜利设备通常配备机器维护手册。对于工艺要求较高的机器，将安排员工现场服务，因为可以看出，不管是采购方还是生产方对真空镀膜机维护都非常重视。

下面详细介绍一下真空镀膜机维护技巧：

1、扩散泵在重新开机前，要注意检漏工作。

扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显减慢，或操作不当，充入大气，拆除连接水管，拆下电炉盘，拧出一级喷嘴，用汽油清洗泵腔和泵胆，然后用洗衣粉和水清洗，然后用水清洗，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。

方法是：启动维护泵并关闭门。几分钟后，观察扩散泵的真空度是否达到6X10帕，否则应检查泄漏情况。检查密封圈是否安装在连接处，或压碎密封圈。加热前可排除泄漏隐患，否则扩散泵油会燃烧环，无法进入工作状态。

2、当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。

方法是：拧下放油螺栓，放下旧油，然后启动泵几秒钟，排出泵中的旧油*。拧回放油螺栓，将新油添加到额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时打开油盖，用布擦拭箱内污垢。

3、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

方法是：用烧碱)饱和溶液反复擦洗真空室内壁(NAOH皮肤不能直接接触烧碱溶液，以免烧伤)，目的是使镀膜铝(AL)与NAOH反应，反应后膜层脱落，释放氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

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