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如何维护真空镀膜机?

发布日期:2023-11-02 17:48:22   来源 : vacuum-parts.cn    作者 :嘉兴元浩光电科技有限公司    浏览量 :256
嘉兴元浩光电科技有限公司 vacuum-parts.cn 发布日期:2023-11-02 17:48:22  
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真空镀膜机的维护是一个非常重要的话题。当买方购买真空涂层机并返回时,制造商的胜利设备通常配备机器维护手册。对于工艺要求较高的机器,将安排员工现场服务,因为可以看出,不管是采购方还是生产方对真空镀膜机维护都非常重视。


真空镀膜螺丝


下面详细介绍一下真空镀膜机维护技巧:


1、扩散泵在重新开机前,要注意检漏工作。


扩散泵连续使用6个月以上,泵速明显减慢,或操作不当,充入大气,拆除连接水管,拆下电炉盘,拧出一级喷嘴,用汽油清洗泵腔和泵胆,然后用洗衣粉和水清洗,然后用水清洗,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。


方法是:启动维护泵并关闭门。几分钟后,观察扩散泵的真空度是否达到6X10帕,否则应检查泄漏情况。检查密封圈是否安装在连接处,或压碎密封圈。加热前可排除泄漏隐患,否则扩散泵油会燃烧环,无法进入工作状态。


2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。


方法是:拧下放油螺栓,放下旧油,然后启动泵几秒钟,排出泵中的旧油*。拧回放油螺栓,将新油添加到额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时打开油盖,用布擦拭箱内污垢。


3、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。


方法是:用烧碱)饱和溶液反复擦洗真空室内壁(NAOH皮肤不能直接接触烧碱溶液,以免烧伤),目的是使镀膜铝(AL)与NAOH反应,反应后膜层脱落,释放氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。


以上内容就是关于如何维护真空镀膜机的介绍,如果您想了解更多关于PVD镀膜的信息,请关注我们:嘉兴元浩光电科技有限公司位于浙江省嘉兴市南湖区嘉兴总部商务花园,专业为光学及光电子行业提供各种设备备件,膜料,高纯度绝缘陶瓷,电子枪灯丝,离子源灯丝,晶振探头,膜层厚度控制仪,电子枪枪头,真空计,真空规,真空灯,高温胶带,润滑油酯,各种钨,钼,无氧铜坩埚。

真空镀膜机
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